第四节　制绒不良片案例分析

制绒过程中出现的不良情况，主要有表面污染、表面发白、表面发亮、腐蚀不均、无绒面等情况。

1.表面污染（图2-9，见书前彩页）

（a）图中出现的是硅片表面有指纹残留。出现的原因是在包装时人为地接触硅片。解决的措施是添加IPA。IPA可以起到一定效果，但是不能杜绝，需要硅片车间的配合。

（b）图中出现的是硅片表面有大量的药液残留。出现的原因是IPA添加过多。解决的方法是重新进行清洗。

（c）图出现的是在同一批片子中相同位置有类似于油污的污渍。出现的原因主要是来料问题，可能在硅片包装时引入。解决的方法是与硅片车间协商解决。

（d）图中出现的是表面污渍。出现的原因主要是在制绒后反应的残留。解决的方法是重新进行清洗。

2.硅片表面颜色（图2-10，见书前彩页）

（a）图中出现的是硅片表面发白。出现的原因主要是制绒的时间不够，解决的方法通常是延长制绒时间。

（b）图中出现的硅片表面发亮，表面发沙。出现的原因主要是KOH过量或者制绒时间过长。解决的方法通常是适当降低碱液的用量及制绒时间。

3.绒面状况（图2-11，见书前彩页）

（a）图中出现的是表面腐蚀不均、硅片表面部分区域发白、有彗星现象发生。出现图中现象的主要原因是IPA偏少。解决的方法通常是适当增加IPA的用量。

（b）图中出现的是制绒后硅片表面出现绒面不均匀。出现图中现象的原因可能是来料问题。解决的方法通常是适当延长时间，可以一定程度上减轻该现象。

（c）图中出现的无绒面或表面有流星雨现象发生。出现图中现象的原因主要是来料问题。解决此类现象的措施是加大碱液用量。

（d）图中出现的绒面不均现象主要表现为部分区域绒面良好，部分绒面表现为较难腐蚀。出现图中现象的原因主要是来料问题。解决此类现象的方法是加大碱液与IPA的用量，具体加入量依据实际情况而定。

制绒过程中，常出现的不良现象是由很多因素造成的。对于常见的问题可以采取以下一系列的措施，减少不良现象地出现。

①插片　在制绒过程中，由于晶体中的缺陷，杂质和掺杂浓度将对各个晶面的腐蚀速率造成影响，因此在插片的过程中尽量保证同一花篮中的硅片来自同一晶棒，在不能保证同一花篮中的片子为同一批号时，则将批号中字母标识相同的放在一起。

②抽检　在制绒进程中如发现制绒不稳定，应在制绒时间将到时，从溶液中捞取一些片子，进行制绒效果观察，以决定是否需要适当延长制绒时间，在硅片进入清水槽后应适当进行抽样，以决定下一批次药液的补给量。

③不良片的判断以及改进步骤　由于在制绒过程中，绒面不均占大多数，因此解决这类问题为提高绒面优良率的关键。绒面不均有多种原因，主要包括刻蚀时间不够、IPA加入不足、NaOH不足等，可以通过一看二算三判断的方法来解决。首先观察不良片可以归为哪一类，其次计算硅片的腐蚀厚度以及剩余厚度，最后来判断属于哪种原因，然后采取相应的对策。

④硅片来料控制　由于位错将对制绒效果有影响（标号A和B的晶棒分别代表无位错和位错的晶棒），因此需要与硅片车间协商，在包装时，不能将标号A和B的晶棒混放在一起（100片小包装），将同一晶棒标号相同的硅片尽量放在一起，并将标号相同的放在同一箱内。